レーザー微細加工ではプロセスを構築したり解明するためにまずは研究機を導入する場合も多くあります。ここでは研究用の基礎となる汎用のレーザー微細加工システムを紹介します。最近では紫外線（UV）レーザーの汎用機や短パルスレーザーの汎用機も出ており、光学系やステージはもちろんのことソフトウエアによるプログラムで簡単に制御が可能なので購入して直ぐに利用できるという点では重宝します。