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プロセス道

第8回
UVレーザーによる特殊な加工例(その1)

UVレーザーを使用することにより比較的簡単にナノパーティクルが作り出せます。



さて今回はUVレーザーによる特殊な例を紹介します。レーザー加工と言えば普通はワークを加工するのですが今回ご紹介するのはワークを加工するのではなく、ワークから飛び出たものを利用しようというものです。




図1.構成概略図

具体的な名称はアブレーションによるナノパーティクル(粒子)生成とPLD(パルスレーザー堆積法)の2つです。どちらの加工も方法はとても似ています。これらはレーザーを照射するワークをターゲット材と呼びます。ターゲット材にレーザーを照射するとアブレーション加工がされてプルームと呼ばれるプラズマ状のものが発生します。これを急冷するとナノパーティクルが生成されます。またプルームの先に基板を配置するとターゲット材のマテリアルが基板上に堆積されて薄膜を作成することが出来ます。これをPLDと呼んでいます。これらはおおざっぱに言ってしまえば粉のまま回収するか薄膜にするかの違いとなるわけですが、装置は全く違う形態をしています。



図2.実際のプルームの様子
では、まず今回はナノパーティクルの生成法です。このプロセスは真空チャンバー内で行います。真空チャンバー内に設置したターゲットにパルスレーザーを照射します。するとターゲットからプルームが発生するのですが、真空中なので粒子は邪魔されず飛んでいきます。チャンバー内を低温にすることにより飛んでいる粒子を急激に冷却し、粒子のまま回収装置へと導きます。そうするとそこにはナノパーティクルが集まります。もちろん材料や条件が様々なので簡単に集まらないものも有りますが、この方法では比較的簡単な方法でナノパーティクルを作り出せます。カーボンナノチューブやフラーレンは大気でも十分に集まりますが、他の手法に比べると決して効率がよいとは言えません。UVレーザーでターゲットをたたく最大の理由は表面だけを薄くアブレーションするところに理由がありますから、スパッタでできてしまうものはスパッタ法がコストが安くなることもあってスパッタで行われる方が一般的です。数年後には意外にもレーザーによる有機ナノパーティクル生成なんて言うのが注目になっていたりするかもしれませんね。次回はPLDについてお話ししようと思います。

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第10回
IRレーザーによる加工

第9回
UVレーザーによる特殊な加工例(その2)

第8回
UVレーザーによる特殊な加工例(その1)

第7回
レーザーによるレーザーアニール

第6回
UVレーザーによる金属薄膜への微細加工2

第5回
UVレーザーによる金属薄膜への微細加工

第4回
UVレーザーによる金属微細加工

第3回
UV加工と熱の関係について

第2回
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第1回
レーザーで加工すると言うこと

序章
はじめに




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