| クラス |
粒径(μm） |
| 0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5 |
1
(M 1.5) |
1,240 |
265 |
106 |
35.3 |
- |
10
(M 2.5) |
12,000 |
2,650 |
1,060 |
353 |
- |
100
(M 3.5) |
- |
265,000 |
10,600 |
3,530 |
- |
1,000
(M 4.5) |
- |
- |
- |
35,300 |
247 |
10,000
(M 5.5) |
- |
- |
- |
353,000 |
2,470 |
100,000
(M 6.5) |
- |
- |
- |
3,530,000 |
24,700 |
クリーンルーム規格 |
さてさて話を最初に戻して光学系の話です。クリーンルームの中でも光学系が汚れるってことをご存じでしょうか?
上記の説明の通り非常に厳しく定められたクリーンルームの中に装置が設置されているのにもかかわらず光学系が汚れる場合があります。ただ単に放置していても光学系が汚れる事はないですがレーザー光を通すと汚染されていきます。そのためクリーンルームであっても光学系のメンテナンス回数を減らすために光学系を窒素パージすることをお推奨します。ではなぜクリーンルーム内にもかかわらず光学系が汚れていくのか？ですが、ちょっと考える時間をおきましょうか。ということで続きは次回にお話ししましょう。
|
