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| 展示会紹介 FPDインターナショナル2006 |
特集
No.08 |
| 10月18日（水）〜 10月20日（金）の 3日間、パシフィコ横浜にて「
FPDインターナショナル2006 」【主催：日経BP社／TEL：03-6811-8084 共催： SEMI】が開催された。 |
| FPDインターナショナルは、液晶、PDP、有機EL、電子ペーパーなど最新のフラットパネルディスプレイ（FPD）が、日本、韓国、台湾を中心に、世界から集まる唯一の展示会です。同時に、部品、材料、製造装置、検査装置といったFPD製造を支えるキーカンパニーも多数出展。充実したセミナープログラムも好評で、これからのアプリケーションから最新技術まで幅広くFPDの最新トレンドがキャッチアップできた。また、画質に焦点を絞ったフォーラムでは、最新の薄型テレビも揃っていた。今回は昨年の来場者数を越える、3日間69,951人のフラットパネルに関係する多くの人々が訪れた。
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| 多くのFPD関連製品が展示される中、レーザー・コンシェルジェはもちろんレーザー加工という観点でレーザー加工に関連する製品を中心に取材を行った。今回は注目したレーザーシステムメーカー、光学関連メーカー、レーザーメーカー、計10社の展示内容についてレポートする。※紹介順は順不同 |
［図1］65インチフルスペックハイビジョン液晶 |
液晶のシャープとして今回はアネックスホールに特別ブースを設け、シャープが世界に誇る亀山工場をPRするコーナーが設けられていた。
本年8月に稼動した亀山工場の先進性とその裏づけとなる液晶新技術を紹介。製品のハイクオリティーを生産工場を紹介することによってPRを行っていた。
そのシャープから製品としては「亀山モデル」として液晶TV“AQUOS” が展示されていた。最大65インチ［図１］はサイズもさることながらフルスペックハイビジョンの美しさはきわだっていた。
シャープでは2006年今月中に世界最大の2,160×2,400mm（第8世代）のマザーガラスを使って生産できる第2工場が稼動予定。
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［図2］トリプルビュー液晶 |
その他最近発表のあったトリプルビュー液晶［図2］の展示が行われていた。このトリプルビュー液晶は液晶を見る角度によって写る映像を変えることができる液晶で、展示会場では同時に違う情報を表示できるデモを行っていた。
大型液晶でこの機能が使えるようになるとゲームとテレビを1台のテレビで同時に出来たりと、今後注目の技術だ。
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住友重機械工業
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レーザーテック
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コヒレント・ジャパン |
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西華産業
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伯東
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ニューウェーブリサーチ
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日本レーザー |
日本製鋼所
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丸文 |
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シグマ光機
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レーザアニーリングシステム
製造：住友重機械工業株式会社
販売：住友重機械工業株式会社 |
住友重機械工業では3タイプのレーザアニーリングシステムのパネル展示及び各種レーザ加工のVTRの展示があった。レーザアニーリングシステムとしては従来のエキシマを使用したELAシリーズ、フランスのSOPRA社のレーザを搭載したELSシリーズ、そしてLD励起固体レーザーを搭載したGLEシリーズだ。メンテナンスフリーでコンパクト設計のLD励起固体レーザーを使用したモデルは注目されているが実績重視の半導体マーケットにおいてはマーケットの主力製品になるにはまだ少し時間がかかるのではないだろうか。また基板サイズが大きくなっていることもありラインビームの長さにも要求が高く、エキシマレーザよりもスループットが高くなる必要も課題だ。
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レーザアニーリングシステム
製造：株式会社日本製鋼所
販売：株式会社日本製鋼所 |
現在レーザアニーリングシステムのトップメーカーの日本製鋼所からは2タイプのレーザアニーリングシステムのパネル及び模型の展示があった。同社では従来の低温ポリシリコンTFT用のレーザアニールシステム以外にも有機EL用のレーザアニーリングシステムへも取り組んでいる。レーザは従来のコヒレント製LAMBDA
STEELを搭載している。
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レーザアニーリングシステム
製造：KORNIC SYSTEMS Corporation
販売：西華産業株式会社
西華産業では2社のレーザーアニーリングシステムを販売することとなった。従来取り扱いのSOPRA社のレーザーと新しく販売を始めたKORNIC
SYSTEMS社のレーザーアニールシステムの2種だ。KORNIC SYSTEMSは韓国のシステムメーカーでエキシマレーザーを使用したレーザーアニールシステムとLD励起固体レーザーを使用したレーザーアニールシステムの両方のシステムの製作を行っている。SOPRA社のレーザーシステムはどちらかというと研究用としての販売、KORNIC
SYSTEMS社のレーザーシステムは量産期対応といった位置づけとなっている。レーザーアニーリングシステムに新しいメーカーが加わったことによりLD励起固体レーザーシステムの開発競争が激化するのではないだろうか。
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マルチビームレーザドライ加工システム
製造：丸文株式会社
販売：丸文株式会社 |
このシステムは第4-7世代ガラス基板対応の金属薄膜・高分子フィルム・ITO各種
薄膜ドライパターニング用マルチビームエキシマレーザドライ加工装置です。レー
ザによるドライ工法は、ウエット工法に比べ行程が簡素化されるとともにドライ
な環境でプロセスが完了するため、環境面・コスト面において優れた次世代の薄
膜製造技術とされている。
マルチビームエキシマレーザドライ加工装置は、安定した高出力UV光をマルチビー
ム化にすることで従来のシングルビーム加工装置と比べて加工時間を大幅に短縮
でき、UV光によるマスク投影光学系は平面・深さ方向に高い分解能を有するため、
薄膜などの高精細なパターン成形に最適となる。
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レーザーリペアシステム
製造：レーザーテック株式会社
販売：レーザーテック株式会社 |
CRシリーズは、従来リペア機のプラットフォームを一新し、機能と性能を大幅に向上したCF/TFTリペアシステムとなっている。このステージは鋼管を用いた特殊工法で架台を製作しているため液晶ガラス基板の大型化に柔軟に対応することができ、さらに、従来の突起欠陥のテープ研磨リペア、黒欠陥のレーザリペアに加え、カラーフィルタの画素を、ほぼ完全な状態に修復できる、カラーリペア機能が搭載されている。この技術は、富士写真フイルム株式会社との技術協力により開発された機能であり、「フィルム熱転写方式」と呼ばれるものだ。本方式は、従来のインク塗布方式に比べ、プロセスの安定性、修正サイズ/形状の制御性、および膜厚均一性に優れており、特に大きいサイズの修正(〜300um角)に対して優位性がある。
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レーザガラス切断システム
製造：株式会社ファインディバイス
販売：伯東株式会社
伯東からは今回の展示会でファインディバイスのレーザガラス切断システムの実機の展示が行われていた。展示会場ではガラス基板の切断の実演もあり、来場者も熱心に装置について質問をしていた。このシステムは、レーザ光をガラス基板に照射することによりガラス表面及び内
部に熱膨張による応力をかけ、直後に冷却することによりクラックを発生させ、
誘導且つ進展を促すことにより割断する加工方法を採用している。
今回、冷却媒体にウォータージェットを使用したが、ドライプロセスを可能とす
るために冷却エアの採用も検討している。
LCD基板ガラスやPDP基板ガラスの切断において、パーティクルの発生を極力抑え、
洗浄や研磨等の2次工程を省くための非接触加工技術として注目されている。
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レーザ発振器
製造：Coherent, Inc.
販売：コヒレント・ジャパン株式会社 |
コヒレント社では今回も多くのレーザ発振器を展示していた。昨年エキシマレーザメーカーのラムダフィジック社を吸収した同社は、レーザアニーリング用のエキシマレーザのメーカーともなったが展示としては固体レーザのみに絞っていた。FPDマーケットにおける固体レーザの活躍の場としてはITO薄膜除去、レーザリペア、ガラスマーキング、ガラス切断などと幅広い活躍の場がある。同社のレーザは各システムへの搭載実績も多く今後の新製品にも注目が集まる。残念ながら今回は新製品情報がなかったが来年の海外での展示会に向けて開発は進んでいるようだ。
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レーザー発振器
製造：POWERLASE
販売：株式会社日本レーザー
日本レーザーからはレーザー発振器としてPowerlase社の高出力DPSSレーザーStarlaseシリーズとSPI社のファイバーレーザーの実機展示が行われていた。
Starlaseシリーズは、メガワットのピーク出力、ナノ秒レベルのパルス幅、数十キロヘルツの高繰返し周波数、という三つの大きな特徴を備えたレーザー光によって、熱影響が少ない高速・高精度加工を実現できるレーザーとして注目されている。またSPI社のファイバーレーザーは高品質ビームを活かし、微細な切断や切断、溶接にも使用できる優れたレーザーとして注目を集めている。
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レーザー発振器
製造：NEW WAVE RESEARCH
販売：ニューウェーブリサーチ株式会社
ニューウェーブリサーチでは工業用としても利用されているYAGレーザーとレーザーリペアシステムの展示が行われていた。レーザーはコンパクトなフラッシュランプ励起のレーザー発振器で波長、出力、繰り返し周波数の組み合わせが自由に選択でき多様なアプリケーションに柔軟に対応可能だ。またモータードライブ光学アッテネーターがオプションとしてリリースされておりパルスエネルギーの可変も可能になる。リペアシステムは顕微鏡にレーザー発振器を搭載した研究向けの簡易な製品だがショート箇所の除去、金属導体の溶接として使用可能になっている。
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レーザー光学系・レーザー加工システム
製造：シグマ光機株式会社
販売：シグマ光機株式会社
シグマ光機からはインターオプトでも出展のあった高速レーザ加工機とレーザ直接描画システムの実機展示及び加工サンプルの展示とレーザ加工機用の各種光学コンポーネントの展示が行われていた。同社は光学素子としてカタログ販売の展開を行っているが、システム販売にも力を入れておりサンプル加工も受け付けている。システムも内作化を進めておりレーザーの開発にも力を入れている。今回は新製品としてアッテネーターとファインビームオートフォーカスシステムの展示が行われており、従来の光学コンポーネントであるビームエキスパンダやｆθレンズ、ガルバノミラーユニット、ステージ及びレンズ、ミラーと組み合わせすることにより実験用のシステムが既製品で完成する。
ファインビームオートフォーカスシステムは標準のタイプで±500μm（50倍対物時）のAF範囲となっている。
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