紫外線（UV）レーザー
波長380nm未満を紫外線（UV）と呼びます。波長200nm以下を真空紫外（ＤＵＶ）と呼ぶこともありますがここでは波長400nm未満をすべて紫外線（ＵＶ）レーザーとしてまとめています。波長が短いので原理的に非常に高い集光性があり、フォトンエネルギーが高くさまざまな物質に非常に良く吸収されます。nsecオーダー以下のパルス動作のものが多く、微細加工に向きます。
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モードロックレーザー
NdイオンドープのYAG結晶を媒体としてAOM,や可飽和吸収体を組み合わせ、共振器の縦モードを同期して発振させます。ピコ秒領域のパルス幅で100MHz前後の繰り返しのレーザー光を作り出し、非線形光学結晶でUV域に波長変換します。通常パルスエネルギーはQスイッチほど大きくない反面、繰り返しが速いので、ポリマーなどに対して微細で高速な加工の可能性を提供します。
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メーカー
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波長(nm)
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モデル名
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出力
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繰り返し
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詳細
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Coherent, Inc.
コヒレント
アメリカ
販売：
コヒレント・ジャパン株式会社
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355
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Paladin Compact 355-2000
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2W
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120MHz
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Paladin 355-4000
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4W
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80MhHz
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Paladin 355-8000
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8W
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80MhHz
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Spectra Physics
スペクトラフィジックス
アメリカ
販売：
スペクトラ・フィジックス株式会社
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355
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Pantera
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12W
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80MHz
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Vanguard 1000-HMD 355
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1W
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80MHz
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