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レーザー発振器



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紫外線(UV)レーザー
波長380nm未満を紫外線(UV)と呼びます。波長200nm以下を真空紫外(DUV)と呼ぶこともありますがここでは波長400nm未満をすべて紫外線(UV)レーザーとしてまとめています。波長が短いので原理的に非常に高い集光性があり、フォトンエネルギーが高くさまざまな物質に非常に良く吸収されます。nsecオーダー以下のパルス動作のものが多く、微細加工に向きます。


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モードロックレーザー
NdイオンドープのYAG結晶を媒体としてAOM,や可飽和吸収体を組み合わせ、共振器の縦モードを同期して発振させます。ピコ秒領域のパルス幅で100MHz前後の繰り返しのレーザー光を作り出し、非線形光学結晶でUV域に波長変換します。通常パルスエネルギーはQスイッチほど大きくない反面、繰り返しが速いので、ポリマーなどに対して微細で高速な加工の可能性を提供します。

メーカー
波長(nm)
モデル名
出力
繰り返し
詳細
Coherent
Coherent, Inc.
コヒレント
アメリカ

販売:
コヒレント・ジャパン株式会社

リクエスト
355
Paladin Compact 355-2000
2W
120MHz

Paladin Compact 355-4000
4W
120

Paladin 355-4000
4W
80MhHz

Paladin 355-8000
8W
80MhHz

Paladin 355-10000
10W
80MhHz

Paladin 355-16000
16W
80MhHz

SP
Spectra Physics
スペクトラフィジックス
アメリカ

販売:
スペクトラ・フィジックス株式会社

リクエスト
355
Pantera
12W
80MHz

Vanguard 1000-HMD 355
1W
80MHz

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