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レーザー発振器



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紫外線(UV)レーザー
波長380nm未満を紫外線(UV)と呼びます。波長200nm以下を真空紫外(DUV)と呼ぶこともありますがここでは波長400nm未満をすべて紫外線(UV)レーザーとしてまとめています。波長が短いので原理的に非常に高い集光性があり、フォトンエネルギーが高くさまざまな物質に非常に良く吸収されます。nsecオーダー以下のパルス動作のものが多く、微細加工に向きます。


| エキシマレーザー | 固体レーザー(LD励起) | 固体レーザー(ランプ励起) | モードロックレーザー |
固体レーザー(LD励起)
NdイオンなどがドープされたYAG等の結晶をLD(ダイオードレーザー)により励起し、まず波長約1ミクロンのレーザー光を取り出します。その後LBO等の非線形光学結晶によって波長変換し、基本波長の1/3および1/4波長の紫外線(UV)レーザー光を作り出します。高い効率の波長変換を実現するためにQスイッチなどで先頭値が高められ数十nsecのパルスで発振します。LD励起により効率が高く、ビームが熱で揺らぎにくいので、微小なスポットに安定して集光でき、この点を生かして、難加工物質の微細加工にも威力を発揮できます。原則内部に高い電圧を使用することもなく、メンテナンス性も期待できます。

メーカー
波長(nm)
モデル名
出力
繰り返し
詳細
Lumentum
Lumentum
ルーメンタム
アメリカ

販売:
ルーメンタム株式会社 コマーシャルレーザ

355
High-Power Q30Xシリーズ
20-40W
0-200kHz
詳細
Q30Xシリーズ
6.5-11W
0-250kHz
詳細
Q33Xシリーズ
3.6-5W
0-250kHz
詳細
DPSS
DPSS Laser, Inc.
ディーピーエスエスレーザー
アメリカ

販売:
株式会社インテック

概要:
DPSS社は全固体UVレーザー専門のメーカーで、固体UVレーザーの出荷量は世界で 最多を誇っています。どのモデルもイントラキャビティーデザインを採用した高 性能な産業用のレーザーとなっております。

355
Series 3500
3W
20kHz-150kHz
詳細
Taitan series
2-5W
30kHz-150kHz
詳細
optowave
Advanced Optowave Corporation
アドバンスド オプトウェーブ
アメリカ

販売:
サンインスツルメント株式会社

概要:
Advanced Optowaves社はプレミアムクオリティのDPSSレーザーメーカーです。 最新設備を備えた生産施設で経験豊富な技術者達によって標準品からカスタム品まで製造されています。
213
Awave-EUV
0.1W
1Hz-100kHz
詳細
266
Awave-DUV
10W
1Hz-300kHz
詳細
355
Awave-UV
30W
1Hz-300kHz
詳細
浜松ホトニクス
浜松ホトニクス株式会社
Hamamatsu Photonics K.K.
日本

販売:
浜松ホトニクス株式会社
355
マイクロチップレーザ L11038-03
0.15mJ
1-100Hz

Azura
EOLITE Systems
イーオーライト
フランス

販売:
プネウム株式会社

リクエスト
343
BOREAS HF UV
7W
120kH

Coherent
Coherent, Inc.
コヒレント
アメリカ

販売:
コヒレント・ジャパン株式会社

リクエスト
266
AVIA 266-3
3W
1Hz-300kH

355
AVIA 355-5
5W
1Hz-150kHz

AVIA 355-7
7W
1Hz-300kHz

AVIA 355-10
10W
1Hz-300kHz

AVIA 355-14
14W
1Hz-300kHz

AVIA 355-23
23W
1Hz-300kHz

AVIA 355-23-250
8.4W
1Hz-400kHz

AVIA 355-28
28W
1Hz-300kHz

AVIA Ultra 355-2000
2W
1Hz-100kHz

MATRIX 355-1-60
1W
1Hz-100kHz

MATRIX 355-1.5-70
2W
1Hz-100kHz

HALO UV
< 2W
< 300kHz

EOS UV
< 0.5W
< 100kHz

Flare PQ HP UV
< 0.5W
< 2kHz

IB Laser
IB Laser, Inc.
アイビーレーザー
アメリカ

販売:
株式会社日本レーザー
有限会社ブロードバンド

リクエスト
355
MESA AC UV-Y
1W
1Hz-100kHz

PEAK SL UV-Y
1W
1Hz-4kHz

Power PEAK UV
2W
1Hz-1kHz

Jenoptik
株式会社片岡製作所
Kataoka Corporation
日本

販売:
株式会社片岡製作所

リクエスト
355
KLY-QV5α
5W
1Hz-50kHz

KLY-QV10α
10W
1Hz-50kHz

omron
オムロンレーザーフロント株式会社
OMRON LASERFRONT INC.
日本

販売:
オムロンレーザーフロント株式会社

リクエスト
355
THG55W
55W
1Hz-10kHz

Lumera
Spectra-Physics
スペクトラフィジックス
アメリカ

販売:
スペクトラ・フィジックス株式会社

リクエスト
266
HIPPO 266QW
2W
30-300kHz

NavigatorII YHP40-266Q
1.5W
15-80kHz

355
Pulseo
20W
1Hz-250kHz

HIPPO 355QW
5W
15-300kHz

Tristar
1W
100kHz

BL6S-355Q
1W
15-200kHz

Navigator 355-4
3.5W
15-100kHz

NavigatorI 355-1
1W
15-100kHz

Quantronix
Quantronix Corporation.
クァントロニクス
アメリカ
販売:
エクセルテクノロジー株式会社

リクエスト
355
HawkII 355-3-0
3W
1Hz-10kHz

HawkII 355-5-M
5W
1Hz-10kHz

HawkII 355-5-0
5W
1Hz-10kHz

HawkII 355-8-M
8W
1Hz-10kHz

スパークルオプティクス
Sparkle Optics Corporation
スパークルオプティクス
アメリカ

販売:
株式会社東京インスツルメンツ

リクエスト
257.5
257.5-QN
15W
25-100kHz

266
266-QN
2W
1-100kHz

343
343-QN
15W
25-100kHz

355
355-QN
5W
1-100kHz

Thales
Thales Laser
タレスレーザー
フランス

販売:
タレスレーザー株式会社

リクエスト
266
Diva 266
2mJ
1Hz-20kHz

Diva HP 266
4mJ
1Hz-20kHz

355
Diva 355
2.5mJ
1Hz-20kHz

Diva HP 355
5mJ
1Hz-20kHz

Photonics
Photonics Industries International, Inc.
フォトニクスインダストリーズ
アメリカ

販売:
レイチャーシステムズ株式会社

リクエスト
263
DS10-263
1.5W
1Hz-10kHz

DS20-263
3W
1Hz-10kHz

266
DS10E-266
1.5W
1Hz-30kHz

DS10HE-266
1.5W
1Hz-70kHz

DS20-266
3W
1Hz-30kHz

DS20HE-266
6W
1Hz-70kHz

351
DC150-351
1.5W
1Hz-10kHz

DS10-351
3W
1Hz-10kHz

DS20-351
7W
1Hz-10kHz

355
DC150-355
1.5W
1Hz-50kHz

DC150H-355
1.5W
1Hz-150kHz

DS10-355
5W
1Hz-50kHz

DS10H-355
5W
1Hz-150kHz

DS20-355
10W
1Hz-50kHz

DS20H-355
10W
1Hz-150kHz

DS40H-355
20W
20-150kHz

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